大型真空容器のリーク探知に関する考え方

小原 建治郎; 中村 和幸; 廣木 成治; 阿部 哲也; 村上 義夫

真空, 27(5), p.339 - 342, 1984/00

https://doi.org/10.3131/jvsj.27.339

大型真空容器をJT-60の真空容器として捉え、稼動後に発生した真空リークを想定、そのリーク検査について、JVX-IIで行なってきたこれまでの実験結果をもとにその考え方を述べる。検査はリーク検知(リークの有無)とリーク探知(リーク箇所の同定)の2つにわけられる。検査では、真空容器の規模と構造上の複雑さから従来のようにヘリウムガスをプローブガスとして使用することは不可能であり、検知、探知いずれの場合も大気側から真空容器内に流入してくる空気をプローブガスとする方法をとっている。検知では(1)排気曲線解析(2)残留ガス分析(3)プラズマ放電時の不純物のチェックが考えられるが、(3)は今後に待つとして(2)の方法が有効である。また、検知では、指向性センサーと真空用マニピュレータとの組み合わせによる方法が現時点では最も有効である。本論文では、JT-60に実際に適用する場合の問題点についてもふれる。